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擴散泵機組的主泵是一種高真空泵，其工作介質為擴散泵油，其抽氣過程是被抽氣體擴散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口在由羅茨泵和機械泵帶走的過程，是一種抽速可以做得很高真空泵。油擴散泵不能單獨使用，必須有前級真空泵串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到擴散泵所能接受的壓力時才能開始工作，否則，油擴散泵將不能正常工作并造成氧化大量的返油等情況。該設備可用于真空爐體、真空罐體、氣站管道類等器件的真空排氣。

擴散泵機組廣泛應用于：真空冶煉、真空焊接、分析儀器、功能型鍍膜、裝飾型鍍膜、電子管制造、電真空器件制造、光學、外層空間模擬、粒子加速器、石油化工、實驗室研發(fā)、半導體制造等領域。

原理

鳴富真空科技（上海）有限公司座落于美麗的松江榆松工業(yè)園，是集研發(fā)、設計、生產、銷售和服務為一體的綜合性高新企，以真空檢漏設備(檢漏儀，氦撿設備等)、真空獲得設備(旋片泵，羅茨泵，羅茨機組，分子泵等)、真空閥門、真空配件(真空管道，真空法蘭，波紋管等)、精密加工為主業(yè)，擁有自營進出口經營權和多項自主研發(fā)的產品。